改首台具有自主知识产权的光掩模设备通过美国

首台具有自主知识产权的光掩模设备通过美国易科SEMI认证

美国易科上海试验室与常州瑞择进行合作，由美国易科实验室为常州瑞择提供SEMI认证的技术指导，并经过双方技术人员的共同努力，经过对光掩模设备的测试，使常州瑞择的光掩模清洗设备顺利通过SEMI测试及认证。

我国首台具有自主知识产权的光掩模工艺设备，昨天在常州高新区的瑞择微电子科技有限公司正式出厂投放市场并顺利通过美国易科取得SEMI认证。它打破了国外在此领域对中国长期以来的技术壁垒和价格垄断，有力地推动了我国半导体产业的发展。

常州市领导范燕青、戴源及市委秘书长常青，为瑞择微电子生产的1 0纳米微芯片光掩模清洗设备出厂剪彩，美国易科上海试验室陈倩总经理应邀参加剪彩仪式。

光掩模是生产计算机芯片过程中必不可少的“模具”，也是最核心的制造设备。经过一年多的努力，“瑞择”本次出厂的1 0纳米光掩模清洗设备，是国内第一台光掩模工艺设备，填补了国内在此领域先进装备制造的空白，技术完全达到国际先进水平。该设备集成了机械、电气、化学、工业控制等多领域的尖端科技，整台设备的总体框架调查人员又赶到县公安局查询设计、器件选型、非标件设计、电气控制设计、工业控制软件开发及整机组装调试，都是由“瑞择”独立完成，具有完全的自主知识产权，企业已申请了两项国际专利、一项国家发明和两项实用新型专利。在设备设计阶段，

“瑞择”是海归创业企业，专业从事半导体先进装备的研制、生产、销售和服务。总经理徐飞是我市引进的第一批海归领军型创业人才，曾获得“三个一房某表示百”的政策支持，他和自己的团队来常不久就获得了常州信辉创业投资有限公司的青睐，踏上了发展的快车道。

范燕青说，作为常州市引进的领军型海归创业人员，徐飞博士带领团队在短短的时间里，研制出了具有自主知识产权、达到国际先进水平的光掩模工艺设备，为我市先进装备制造业和高新技术产业的发展又添上了浓墨重彩的一笔，充分体现了海归人才奋力拼搏、坚韧不拔的精神。他希望全市海归人才和创新创业人员以此为激励，加快发展，努力成为各自产业中的佼佼者，为常州的科学发展、创新发展、和谐发展作出更大的贡献。

美国易科上海试验室陈倩总经理与常州瑞择徐飞总经理合影